無錫冠亞恒溫
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快速溫變控溫卡盤MD
氣體控溫系統(tǒng) 2882
MD在熱測試方面的zui大創(chuàng)新是熱控制卡盤系列，主要用于半導體晶片的性能測試、建模、工藝開發(fā)、設計缺陷或IC故障分析。可以實現(xiàn)快速溫度變化，精準控制溫度。系統(tǒng)本身自帶制冷機，避免了液氮、二氧化碳等的消耗，每個系統(tǒng)均包含了卡盤和冷熱控制單元
| 型號 | MD-708 | MD-712 | MDL-708 |
| 溫度范圍 | -75℃～225℃ | -75℃～225℃ | -75℃～225℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ | ±0.1℃ | ±0.1℃ |
| 平板溫度均勻性 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 平板平整度 | ±50um | ±50um | ±50um |
| 平板尺寸 | 直徑200mm圓盤 | 直徑300mm圓盤 | 150mm*200mm |
| 主機與卡片連接線 | 2.5m(可定制其他長度） | ||
| 平板表面處理 | 電鍍鎳（可選擇電鍍 黃金） | ||
| 升溫 | -60°C to +25°C: 2 min 0°C to +25°C: 2?min +25°C to +220°C: 6 min | ||
| 降溫 | 220°C to +25°C: 2 min +25°C to -60°C: 6 min | ||
| 控制系統(tǒng) | PLC控制器，加熱前饋PID模糊算法，制冷電子膨脹閥PID調節(jié)控制制冷量 | ||
| 顯示與記錄 | 7寸彩色觸摸屏，記錄溫度曲線 | ||
| 通訊 | 以太網接口TCP/IP協(xié)議 | ||
| 制冷壓縮機 | 泰康壓縮機 | ||
| 電源 | 220V 50/60HZ 2.8KW | 220V 50/60HZ 4.5KW | 220V 50/60HZ 2.8KW |
| 主機尺寸mm | 550×650×370 | 550×650×370 | 550×650×370 |
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