單通道系列Chiler

2025/07/24 Chiller高精度冷熱循環器 497

適用范圍

FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度準確控制，公司在系統中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現系統快速響應、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統進行全面管理監控記錄。

加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。

產品參數

FLTZ 15℃～25℃

型號	FLTZ-001S	FLTZ-002S FLTZ-002WS	FLTZ-003S FLTZ-003WS	FLTZ-004S FLTZ-004WS	FLTZ-006S FLTZ-006WS	?FLTZ-008WS	FLTZ-010WS
溫度范圍	15℃～25℃
控溫精度	±0.005℃? 設備出口溫度控制精度
流量	7L/min 3bar	15L/min? at 4bar		30L/min at 4bar		75L/min? at? 4bar
制熱	采用壓縮機制熱，防止冷凝器結霜技術
制冷量@20℃	3kW	7kW	10.5kW	14kW	21kW	28kW	?35kW
液體容積	8L	15L	20L	30L	50L	60L	80L
制冷劑	R1234fa???? （ODP=0?? GWP=4）
載冷劑	純凈水
控制器	PLC，模糊PID控制算法，具備串級控制算法
溫度控制	導熱介質出口溫度控制模式 pt100
	外接溫度傳感器：（PT100或4～20mA或通信給定）控制模式（串級控制）
通信協議	以太網接口TCP/IP協議
	RS485接口 modbus RTU協議
設備內部溫度反饋	設備導熱介質出口溫度、介質進口溫度、制冷系統冷凝溫度、壓縮機排吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有）
系統壓力	制冷系統壓力采集高低壓壓力傳感器
	循環系統壓力采集進出口位置采用壓力傳感器
循環泵	磁力無機械密封循環泵
蒸發器	板式換熱器
冷凝器	微通道冷凝器（風冷）
	板式換熱器（水冷），特別注意：需要使用清潔廠務水
制冷節流	電子膨脹閥
操作面板	7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數據導出
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；壓力保護，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
系統撿漏	制冷系統100%氦檢出廠? 循環系統100%氦檢出廠
進出接口尺寸	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
外殼	冷軋板噴塑RAL7035

FLTZ? 5℃～90℃

型號	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
制冷量at10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R410A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純凈水等（純凈水溫度需要控制10℃以上）
進出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/h	2m3/h	2.5m3/h	4m3/h	4.5m3/h	5.6m3/h	9m3/h
?藝過程溫度控制	可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	950380106	9843140	9843140	10860150	10860150

FLTZ? -25℃～+90℃

型號	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
溫度范圍	?-25℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
流量 MAX	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
制冷量at-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.2m3/H	1.6m3/H	2.6m3/H	3.6m3/H	5.5m3/H	7m3/H	10.2m3/H
?藝過程溫度控制	可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10860150	10860150

FLTZ? -45℃～+90℃

型號	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
溫度范圍	?-45℃～90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
流量/壓力 MAX	10～25L/min? 5bar max		15～45L/min 5bar max			25～75L/min 5bar max
制熱	采用壓縮機制熱，防止冷凝器結霜技術
制冷量at-35℃	1kW	1.4kW	1.8kW	2.5kW	3.3kW	5kW	8kW
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
制冷劑	R404A
載冷劑	硅油、氟化液、乙醇水溶液等
進出接口尺寸	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水接口	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1	Rc1	Rc1 1/8
冷卻水流量at20℃	1.5m3/H	2.4m3/H	3.5m3/H	5m3/H	5.5m3/H	6m3/H	8m3/H
?藝過程溫度控制	可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫）
外形尺寸 cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10850150	10850150

FLTZ? -80℃～+90℃

型號	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
溫度范圍	?-80℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
流量/壓力 MAX	7～25L/min? 5bar		12～45L/min 6bar
制冷量at-70℃	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
加熱功率	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
內循環液容積	4L	5L	6L	8L	10L
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L
導熱介質	氟化液
進出接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1
冷卻水at20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
斷路器	25A	25A	32A	40A	50A
?藝過程溫度控制	可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫）

FLTZ? -100℃～+90℃

型號	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
溫度范圍	?-100℃～+90℃
控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備）
流量 MAX	7～25L/min	12～45L/min
制冷量at-90℃	1.5kW	3kW
加熱功率	3.5kW	5.5kW
內循環液容積	5L	8L
膨脹罐容積	10L	15L
導熱介質	氟化液
導熱介質接口	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水接口	Rc3/4	Rc1
冷卻水at20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar
斷路器	32A	63A
?藝過程溫度控制	可根據?創?模型?建樹算法和串級算法相結合來控制遠程?標溫度（動態控溫）