半導(dǎo)體薄膜沉積水冷機(jī)PVD chiller從溫控異常到系統(tǒng)優(yōu)化的解決方案
307在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,薄膜沉積是作為常用的薄膜沉積技術(shù)之一,需要其設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。薄膜沉積水冷機(jī)PVD chiller作為PVD設(shè)備的重要配套設(shè)施之一,在使用過(guò)程中可能會(huì)出現(xiàn)一些問(wèn)題,影響生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。 一...
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